Grafitelektroder för tillverkning av integrerade kretsar
Jincheng Graphite, som en professionell tillverkare av grafitprodukter, tillhandahåller grafitelektroder med hög ledningsförmåga och hög termisk stabilitet för tillverkning av integrerade kretsar. Dessa elektroder är speciellt designade för nyckelprocesser som litografi, etsning och deponering, med hög precisionsbearbetningskapacitet, lång livslängd och låg termisk spänning. De används ofta i den avancerade-halvledarindustrin.
Core Advantage
Hög ledningsförmåga och termisk stabilitet
Genom att använda grafitsubstrat med hög-renhet och kombinera ytbehandlingsteknik i nanoskala når konduktiviteten större än eller lika med 10^5 S/m, och den termiska expansionskoefficienten är mindre än eller lika med 3,5×10⁻⁶/grad. Detta säkerställer strukturell stabilitet under processer med hög-temperatur och förhindrar termisk deformation av skivan.
Precisionsbearbetningskompatibilitet
Genom laserskärning, plasmaetsning, etc., stöder den elektrodtjocklek från 0,05 till 3 mm och anpassade komplexa geometrier, lämpliga för waferbearbetningsutrustning för avancerade processer på 5nm och lägre, som uppfyller kraven för hög-precisionsinriktning.
Korrosionsbeständighet och slitstyrka
Ytan genomgår en kemisk passiveringsbehandling. Den klarar starkt sura korrosionstester med HF, HNO₃, etc., och tål temperaturer upp till 1500 grader eller högre, vilket avsevärt förlänger elektrodernas livslängd och minskar risken för processavbrott.
Applikationsscenario
Grafitelektroder som används vid tillverkning av integrerade kretsar används i stor utsträckning i nyckelprocesser som plasmaetsning (för bearbetning av djupa sub-mikrongravar), kemisk ångdeponering (CVD) och fysisk ångdeposition (PVD). Deras låga termiska spänningsegenskaper kan effektivt förhindra defekter orsakade av ojämn termisk expansion av wafers, vilket ökar utbytet av high-chips till över 99,8 % och hjälper till att uppnå miniatyrisering och hög-densitetsintegration av chiptillverkningsprocesser.
Tekniska specifikationer
| Elektrisk ledningsförmåga | Större än eller lika med 10^5 S/m (vid rumstemperatur) |
| Termisk expansionskoefficient | Mindre än eller lika med 3,5 × 10⁻⁶ / grad |
| Ytjämnhet | Ra Mindre än eller lika med 0,2 μm |
| Korrosionsbeständighet | Godkända tester i starka syror, starka alkalier och plasmamiljöer |
| Mekanisk styrka | Tryckhållfasthet Större än eller lika med 120 MPa |
Jincheng grafit kvalitetssäkring
Jincheng Graphite har varit djupt involverad i området grafitprodukter i 18 år. Det har sina egna oberoende immateriella rättigheter för låg-temperatursintringsteknik och ISO9001-certifiering av kvalitetsledningssystem. Den kontrollerar strikt hela processen från råmaterialrening (renhet Större än eller lika med 99,99%), formning och pressning till hög-temperatursintring för att säkerställa att produkterna uppfyller de strikta kraven från halvledarindustrin för renhet (ISO 4-klass), termisk stabilitet (±0,5 grader .) och ytplanhet till mindre än 1 μs.
Samarbetsåtagande
Jincheng Graphite erbjuder gratis provtestning, 72-timmars tekniskt svar och stöd för små-provproduktion. Den kan anpassa elektroddimensioner, ledande prestandaparametrar och ytbehandlingsplaner enligt kundens processkrav. Det har åtagit sig att tillhandahålla högpresterande och pålitliga grafitelektrodlösningar för globala halvledarföretag. Med professionell teknik, snabb leverans och kontinuerlig innovation har det blivit en kärnpartner inom området för termisk hantering och precisionsbearbetning vid tillverkning av integrerade kretsar.
Populära Taggar: grafitelektroder för ic-tillverkning, Kina grafitelektroder för ic-tillverkning tillverkare, leverantörer, fabrik, grafitbussningar för halvledarutrustning, grafitelektroder för tillverkning av IC, grafit av halvledarkvalitet, halvledargrafit kylflänsar, halvledargrafit enhetlig temperaturplatta, wafertillverkning grafit
