Grafitwaferbåt för halvledarbearbetning
Produktöversikt
Jincheng grafitwaferbåtar för halvledarbearbetning är precisionsbearbetade grafitbärare av hög renhet designade för att hålla kvar kiselwafers under olika tillverkningsprocesser för halvledartillverkning, inklusive oxidation, diffusion, CVD och epitaxi. Dessa båtar säkerställer enhetlig waferbearbetning och minimal partikelgenerering.
Våra halvledarwaferbåtar är tillverkade av ultrahög renhet, finkornig isostatisk grafit som uppfyller de strängaste kraven från halvledarindustrin. Anpassade slitsdesigner och waferstorlekar finns tillgängliga för att matcha olika ugnsmodeller och waferdiametrar.
Nyckelfunktioner
- Ultrahög renhet grafitmed askhalt under 20 ppm för halvledarbearbetning av wafer
- Utmärkt termisk enhetlighetför konsekventa waferbearbetningsresultat
- Precision slits designför exakt waferplacering och minimal kontaktyta
- Låg partikelgenereringför att upprätthålla renrumsmiljöns integritet
- Hög temperaturstabilitetupp till 1200 grader i oxiderande och reducerande atmosfärer
- Dimensionell konsistensför automatiserade waferhanteringssystem
- Anpassade storlekar tillgängligaför 100 mm, 150 mm, 200 mm och 300 mm wafers
- Lång livslängdmed rätt ugnsatmosfär och hanteringsprocedurer
Tekniska specifikationer
| Parameter | Värde |
|---|---|
| Material | Finkornig grafit med ultrahög renhet |
| Densitet | 1.80 - 1.90 g/cm3 |
| Askinnehåll | < 20 ppm (semiconductor grade) |
| Kornstorlek | 5 - 10 mikron (finkornig) |
| Shore hårdhet | 65 - 80 HS |
| Böjningsstyrka | 60 - 90 MPa |
| Max arbetstemperatur | 1300 grader (i oxiderande atmosfär) |
| Wafer Diameter | 100mm, 150mm, 200mm, 300mm |
| Slot Pitch | Anpassad per waferstorlek och båtdesign |
| Slot Tolerans | ±0,02 mm |
Ansökningar
- Oxidations- och diffusionsugnar för waferför termisk bearbetning
- CVD-processer (kemisk ångavsättning).för tunnfilmsavsättning
- Epitaxiella tillväxtugnarför kiselepitaxi
- Glödgnings- och avspänningsugnarför bearbetning av wafer
- Renrumsbearbetning av waferför tillverkning av halvledarfabrikat
- FoU-bearbetning av waferför halvledarforskningsinstitut
Varför välja Jincheng Graphite Wafer Boats?
- Halvledarklassad grafit med ultrahög renhetför de mest krävande waferbearbetningsapplikationerna
- Precisions CNC-bearbetningmed snäva spårtoleranser för korrekt waferplacering
- Erfarenhet av stora ugnsmärkeninklusive TEL, Applied Materials och Kokusai
- Skräddarsydda båtdesigneroptimerad för dina specifika ugns- och waferbearbetningskrav
- Konkurrenskraftig prissättningjämfört med importerade halvledargrafitbärare
- Snabb leverans- standardbåtar inom 1 vecka, anpassade inom 2-3 veckor
- Teknisk supportför optimering av båtdesign och processförbättring
- Global frakttill halvledarfabriker och forskningsinstitut över hela världen
Vanliga frågor
F1: Vilka waferstorlekar stöder dina båtar?
S: Vi tillverkar waferbåtar för alla vanliga waferstorlekar inklusive 100 mm (4 tum), 150 mm (6 tum), 200 mm (8 tum) och 300 mm (12 tum). Anpassade storlekar finns också tillgängliga för speciella wafer-format.
F2: Hur länge håller waferbåtar i halvledarugnar?
S: Båtlivslängden beror på ugnsatmosfär och bearbetningsförhållanden. Under typiska oxidations- och diffusionsförhållanden håller grafitwaferbåtar 6-12 månader innan de behöver bytas ut.
F3: Kan du tillverka båtar med tantalkarbid (TaC) beläggning?
S: Ja, vi erbjuder TaC-beläggningstjänster för förlängd båtlivslängd och minskad metallkontamination i avancerade halvledarbearbetningsapplikationer.
F4: Tillhandahåller du renrumsförpackning?
S: Ja, alla våra halvledargrafitkomponenter rengörs och förpackas i en renrumsmiljö för att uppfylla halvledartillverkningsstandarder.
Populära Taggar: grafit wafer båt, halvledarbåt, wafer carrier, grafit wafer carrier, CVD båt, grafitbussningar för halvledarutrustning, grafitvärmeelement för halvledare, grafit VC enhetlig temperaturplatta, grafit av halvledarkvalitet, Wafergrafitbärare, wafertillverkning grafit
